導(dǎo)電四探針電阻測試儀維護(hù)和保養(yǎng)

使用者的維護(hù)

為了防止意外發(fā)生，請不要接觸機(jī)內(nèi)部件。本機(jī)器內(nèi)部所有的零件，不需使用者的維護(hù)。如果機(jī)器有異常情況發(fā)生，請直接與瑞柯儀器公司廠家或其的經(jīng)銷商給予維護(hù)。

使用者的修改

使用者不得自行更改機(jī)器的線路或零件，如被更改機(jī)器后保修則自動失效并且本公司不負(fù)任何事故責(zé)任。在保修內(nèi)使用未經(jīng)我公司認(rèn)可的零件或附件造成故障也不予保證。如發(fā)現(xiàn)送回檢修的機(jī)器被更改，將機(jī)器的電路和零件修復(fù)回原來設(shè)計的狀態(tài)，并收取修護(hù)費(fèi)用。

測試工作站

工作位置

工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經(jīng)的處所，使非工作人員選離工作站。如果因為條件限制的安排而無法做到時，必須將工作站與其這它設(shè)施隔開并且特別標(biāo)明“測試工作站”。如果工作站與其它作業(yè)站非常接近時，必須特別注意安全的問題。在測試時必須標(biāo)明“測試執(zhí)行中，非工作人員請勿靠近”

輸入電源

輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz

工作場所

盡可能使用非導(dǎo)電的工作桌工作臺。操作人員和待測物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測物去操作或調(diào)整測試儀器的現(xiàn)象。測試場所必須隨時保持整齊、干凈，不得雜亂無章。測試站及其周邊之空氣中不能含有可燃?xì)怏w或在易燃物質(zhì)。

人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓(xùn)練合格的人員使用和操作。

安全守則

操作人員必須隨時給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

衣著規(guī)定

操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

醫(yī)學(xué)規(guī)定

不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

測試安全程序規(guī)定

一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠*自主掌控各部位的控制開關(guān)和功能。

安全要點(diǎn)

● 非合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測試區(qū)。

● 萬一發(fā)生問題，請立即關(guān)閉電源并及時處理故障原因。

1.使用前期準(zhǔn)備--測試前準(zhǔn)備工作：

1.1.開機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測試儀無常啟動，請按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開

③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲

④ 如經(jīng)上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請本公司進(jìn)行解決。

1.2.準(zhǔn)備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結(jié)果造成影響.

1.3.接通電源，開啟電源開關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進(jìn)入，

1.4.進(jìn)入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側(cè)對應(yīng) 的功能按鍵“方阻”，則進(jìn)入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料”則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測試儀界面。

1.5.設(shè)置好被測物所需之參數(shù)，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測試的設(shè)置

2.四探針方阻測試步驟

2.1.上述步驟中1項，使用前期準(zhǔn)備

2.2 把被測物測試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

2.2.1依據(jù)不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動光標(biāo)至“電流”功能，按“設(shè)置”鍵進(jìn)入；再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進(jìn)入，通過面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

2.3.測試探頭和測試平臺操作

選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭

導(dǎo)電四探針電阻測試儀

器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導(dǎo)率測量

采用四端測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實驗室；是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具?？膳渲貌煌瑴y量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動量程，自動測量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇.

四端測試法是目前較*之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

技術(shù)參數(shù)

1、電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電   阻：1×10-5～2×105Ω

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  小1μΩ
測量誤差±5%
2、測量電壓量程： 2mV   20mV  200mV 2V 
   測量精度±（0.1%讀數(shù)）

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
3、⑴電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
   ⑵量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA, 
   ⑶誤差：±0.2%讀數(shù)±2字

4. 主機(jī)外形尺寸：330mm*340mm*120mm

5、顯示方式：液晶顯示6、電源：220±10% 50HZ/60HZ

7、標(biāo)配：測試平臺一套、主機(jī)一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。

測量范圍、分辨率（括號內(nèi)為拓展量程，可定制）

電 阻：10.0×10-6  ～ 200.0×103 Ω, 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

（1.0×10-6  ～ 20.00×103 Ω, 分辨率 0.1×10-6  ～ 0.01×103

Ω）

電 阻 率：10.0×10-6  ～ 200.0×103  Ω-cm 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω-cm

 1.0×10-6  ～ 20.00×103  Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103  Ω

方塊電阻：50.0×10-6  ～ 1.0×106  Ω/□ 分辨率 5.0×10-6  ～ 0.5×103 Ω/

5.0×10-6  ～ 100.0×103  Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω

由主機(jī)、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選；電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電，適合手持式變動場合操作使用！